Отрасли
Герметичные инертные системы
Работа с азотом, аргоном или гелием требует подтверждения совместимости и различения вакуума с избыточным давлением.
Научные и испытательные установки
Вращение образцов, мишеней, антенн и оптики. Для чувствительных систем оценивают остаточное магнитное поле.
Вакуумная робототехника
Одноосевые, коаксиальные и многоосевые вводы оценивают по повторяемости, моменту, динамической нагрузке и обслуживанию.
Ионная имплантация и плазменные процессы
Точность вращения, вакуум, загрязнение и материалы оцениваются вместе. Электрическая изоляция не приписывается гермовводу без специального подтверждения.
Вакуумные печи
Вращающиеся столы, барабаны, мешалки и позиционеры работают при тепловом излучении и прогреве. Важно расположение подшипников и теплоотвод.
Выращивание кристаллов
Вращение затравочного штока, тигля и экранов; возможны полый вал, охлаждение, осевые нагрузки и многоосевая компоновка.
Полупроводниковое оборудование
Механизмы загрузки, PVD, CVD, травление и ионная имплантация требуют контроля частиц и специальной оценки реактивных газов.
Вакуумное нанесение покрытий
Вращение подложкодержателей, барабанов, каруселей и планетарных механизмов. Критичны частицы, равномерность вращения, температура и совместимость с PVD/CVD-процессом.